特許
J-GLOBAL ID：200903048984568248
蒸着フイルム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-187573
公開番号（公開出願番号）：特開平5-033122
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】ガス遮断性が一層優れ、かつ、そのバラツキが極めて小さい酸化マグネシウム蒸着フィルムを提供する。【構成】酸化マグネシウムを窒素ガス等のプラズマ空間を通過させることにより、基材フィルムの少なくとも片面に結晶性を有する酸化マグネシウム薄膜を形成する。
請求項（抜粋）：
基材フィルムの少なくとも片面に結晶性を有する酸化マグネシウム薄膜を形成したことを特徴とする蒸着フィルム。
IPC (4件)：
C23C 14/08
, B32B 9/00
, B32B 15/08
, C23C 14/20
