特許

J-GLOBAL ID：200903048985515482

リニア型超音波モータ

発明者： 寒河江 忠篤 ,  神山 和彦
出願人/特許権者： 株式会社田村電機製作所
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-341231
公開番号（公開出願番号）：特開平7-170765
出願日： 1993年12月13日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 オープンループ制御で可動部材の高精度な位置決めを可能とする。【構成】 超音波振動子1に摩擦材5-1を介して可動レール2を接する。固定レール3をボールゲージ4を介して可動レール2に圧接する。固定レール3は筐体側に固定する。可動レール2に形成された縦孔2-1の形成面にその面部6-1を対面させてスリット板6を配置する。可動レール2の縦孔2-1に圧縮コイルバネ7を挿入配置し、スリット板6の面部6-1とバネ7との間にボール8を配置する。スリット板6は筐体側に固定する。スリット板6の面部6-1に山形のテーパ面6-11を所定のピッチP1で形成し、隣接する山形のテーパ面6-11の間にスリット6-12を形成する。これにより、可動レール2の移動に伴ってボール8が面部6-1上を転がりながら動き、ピッチP1で上下動する。

請求項（抜粋）：

駆動信号の供給を受けて多重モード振動しその外周面の質点に楕円運動を生じる超音波振動子と、この超音波振動子の質点に生じる楕円運動により摩擦駆動され直線移動する可動部材と、その面部に山形のテーパ面が所定のピッチで形成され、このテーパ面の形成された面部を前記可動部材に対面させて配置された固定部材と、この固定部材と前記可動部材との間にあって、前記可動部材の直線移動に伴って動き、前記固定部材の山形のテーパ面の頂を前記可動部材側へ押圧付勢力に抗し移動して乗り越えるボール部材とを備えたことを特徴とするリニア型超音波モータ。