熱物理蒸着源

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-058355
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291589
出願日： 2001年03月02日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】有機電界発光材料用の熱物理蒸着源を改良すること。【解決手段】 a)所定のハウジングを含み;b)ハウジングは所定の上板によってさらに画定されており;c)所定のバフル部材を含み;d)所定の直線投影が、上板との間の間隔が寸法Lとなるような位置を側壁上で画定し;e)寸法比wh対wsは1.5〜6.0の範囲内、寸法比L対wsは2〜6の範囲内、そして寸法比m対Lは0.15〜0.40の範囲内にあり;そしてf)電位差をハウジングの各種部分に印加することにより、気化した電界発光材料がハウジングの複数の側壁及び上板並びにバフル部材の上面で跳ね返りスリットを通って基板に達する一方、電界発光材料粒状物がスリットを通過するのをバフル部材によって妨げるようにした手段を含む、ことを特徴とする熱物理蒸着源。

請求項（抜粋）：

表示装置の形成において固体有機電界発光材料を気化させ且つ気化した電界発光材料を層として基板表面上に適用するための熱物理蒸着源であって、a)気化され得る固体有機電界発光材料を受容する、底壁と複数の側壁とを有する囲いを画定するハウジングであって、その幅がwhであるものを含み;b)前記ハウジングは、気化した電界発光材料を基板表面に向けて通過せしめるための幅wsの蒸気流出口スリットを画定し且つ導電性部分を有する上板によってさらに画定されており;c)前記スリットに中心を置き、また前記複数の側壁との間に間隔をあけ、さらに前記上板との間に距離mを置いた幅bの導電性バフル部材であって、気化した電界発光材料が前記スリットに直接接近しないように且つ電界発光材料粒状物が前記スリットを通過しないように前記スリットを覆う透視線を実質的に提供するバフル部材を含み;d)前記スリットの縁部から前記バフル部材の縁部を経て側壁に到達する直線投影が、上板との間の間隔が寸法Lとなるような位置を当該側壁上で画定し;e)寸法比wh対wsは1.5〜6.0の範囲内、寸法比L対wsは2〜6の範囲内、そして寸法比m対Lは0.15〜0.40の範囲内にあり;そしてf)前記囲い内の固体有機電界発光材料を気化させるために当該材料に加えるべき熱を発生させるための電位差を前記ハウジングの各種部分に印加することにより、気化した電界発光材料が前記ハウジングの複数の側壁及び上板並びに前記バフル部材の上面で跳ね返り前記スリットを通って前記基板に達する一方、前記電界発光材料粒状物が前記スリットを通過するのを前記バフル部材によって妨げるようにした手段を含む、ことを特徴とする熱物理蒸着源。

IPC (5件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/24 , H05B 33/14 , H05B 33/22

FI (6件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/24 A , H05B 33/14 A , H05B 33/22 D , H05B 33/22 B

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-170660
特開昭62-142759
特開昭63-171866

全件表示

前のページに戻る