特許
J-GLOBAL ID：200903049000208315
基板位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-220330
公開番号（公開出願番号）：特開平5-058515
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】矩形状等の基板の互いに直交する方向の2つの側端縁を押圧部材によって押圧することによって該側端縁に対向する他の側端縁を当接ピンに当接させて基板を位置決めする場合に円滑に且つ精度良く位置決め動作できるようにする。【構成】基板を水平に載置する基台と、該基台上に載置される基板の一側端縁を当接させる第1当接ピンと、該第1当接ピンと相対する前記基板の他側端縁を第1当接ピン方向に押圧して位置決めする自由回転可能な第1押圧コロと、対向する前記基板両端縁に対して直交方向に対向する一側端縁を当接させる第2当接ピンと、該第2当接ピンに相対する他側端縁を第2当接ピン方向に押圧して位置決めする自由回転可能な第2押圧コロとを備えた基板位置決め装置。
請求項（抜粋）：
基板を水平に載置する基台と、該基台上に載置される基板の一側端縁を当接させる第1当接ピンと、該第1当接ピンと相対する前記基板の他側端縁を第1当接ピン方向に押圧して位置決めする自由回転可能な第1押圧コロと、対向する前記基板両端縁に対して直交方向に対向する一側端縁を当接させる第2当接ピンと、該第2当接ピンに相対する他側端縁を第2当接ピン方向に押圧して位置決めする自由回転可能な第2押圧コロとを備えたことを特徴とする基板位置決め装置。
IPC (4件)：
B65H 9/10
, B23Q 3/18
, B65H 9/02
, H01L 21/68
