特許
J-GLOBAL ID:200903049001031605
基材の表面処理方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
福沢 俊明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-337947
公開番号(公開出願番号):特開平5-179034
出願日: 1991年11月28日
公開日(公表日): 1993年07月20日
要約:
【要約】【目的】 基材の表面処理により、親水性および耐久性に優れ、且つ多様な特性、機能を有する物品を形成する。【構成】 酸素原子および/または窒素原子を含有する不飽和化合物によるプラズマ重合処理並びに不飽和化合物と酸素および/または窒素との混合ガスによるプラズマ重合処理の少なくとも1種のプラズマ重合処理を基材表面に行なったのち、無機酸化物薄膜を形成する工程を含み、それによりプラズマ重合膜が基材表面の一部または全部を被覆しているとともに、無機酸化物薄膜が基材表面の残りの少なくとも一部を直接被覆しているかおよび/または前記プラズマ重合膜を不連続に被覆している物品を形成する。
請求項(抜粋):
酸素原子および/または窒素原子を含有する不飽和化合物によるプラズマ重合処理並びに不飽和化合物と酸素および/または窒素との混合ガスによるプラズマ重合処理の少なくとも1種のプラズマ重合処理を基材表面に行なったのち、無機酸化物薄膜を形成する工程を含み、それによりプラズマ重合膜が基材表面の一部または全部を被覆しているとともに、無機酸化物薄膜が基材表面の残りの少なくとも一部を直接被覆しているかおよび/または前記プラズマ重合膜を不連続に被覆している物品を形成することを特徴とする、基材の表面処理方法。
IPC (2件):
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