特許
J-GLOBAL ID：200903049001406781
角形基板の洗浄装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-209690
公開番号（公開出願番号）：特開平6-099124
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】 角形基板のコーナー部に生ずる塗膜厚膜を効率よく洗浄、除去する。【構成】 コーナー部洗浄装置4はカップ11内にマウント12を設け、これを貫通して正逆回転可能なスピンチャック13を設けてある。スピンチャック13の中心には真空ポンプにつながる吸引孔が形成され、このスピンチャック13上に中心を合せて角形板状基板Wが吸着、固定されている。コーナー部洗浄に使用するノズル14は台座15、支柱16及び上下に首振り可能なアーム17によって保持されており、このアーム17に接するノズル14の柄14aは前後にスライド可能であり、また左右にローリングすることも可能である。従って基板Wに対するノズル14の位置及び噴出方向を自在に調節して、洗浄液導入管18からの洗浄液を噴出することができる。
請求項（抜粋）：
板状角形基板の裏面を吸着してこの基板を回転せしめるスピンチャックを備えた洗浄装置において、この洗浄装置は回転塗布時の遠心力によって基板コーナー部に偏向して厚膜となっている塗膜の洗浄液を吐出するノズルを有し、このノズルは回転する角型基板のコーナー部が通過する軌跡の上方に設けられていることを特徴とする角形基板の洗浄装置。
IPC (5件)：
B05C 11/08
, B05C 9/12
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
, H01L 21/304 341
