特許
J-GLOBAL ID：200903049010804293
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-036395
公開番号（公開出願番号）：特開2001-228096
出願日： 2000年02月15日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：
【要約】【課題】 基板上の繰り返しパターンの線幅が従来装置における下限値(照明光源の波長に基づく下限値)を超えて微細な場合でも、照明光源の波長を短くすることなく基板の欠陥検査を行える簡易な欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 基板11を照明する照明光学系13と、基板11からの回折光を受光する受光光学系14とを備え、受光光学系14により得られた基板11の像に基づいて基板11の欠陥を検査する欠陥検査装置10であって、液体19を保持する容器16を備えたものである。液体19は、基板11の少なくとも受光光学系14が配置された側の所定面11aに付着した状態で容器16に保持される。
請求項（抜粋）：
基板を照明する照明光学系と、前記基板からの回折光を受光する受光光学系とを備え、前記受光光学系により得られた前記基板の像に基づいて前記基板の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、液体を前記基板の少なくとも前記受光光学系が配置された側の所定面に付着させた状態で保持する容器を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
Fターム (8件)：
2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051BB01
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA06
, 2G051CB06
, 2G051DA08
