特許
J-GLOBAL ID：200903049012309036
静電容量型3次元位置測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-116374
公開番号（公開出願番号）：特開2005-300329
出願日： 2004年04月12日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：
【課題】 小型であって真空中でも使用することが容易な静電容量型3次元位置測定装置を提供する。【解決手段】 被測定物1には、被測定物1の位置検出を行うためのターゲット2a、2b、2dが設けられている。これらのターゲット2a、2b、2dに対向して静電容量型センサ3a、3b、3dがそれぞれ設けられており、これらの静電容量型センサ3a、3b、3d中には、電極4a、4b、4dがそれぞれ設けられている。静電容量型センサ3aとターゲット2aの位置は、X-Y方向ではほぼ一致している。静電容量型センサ3aに対してX軸方向に位置する静電容量型センサ3b、3dの位置は、その中心がそれぞれターゲット2bの左端、ターゲット2dの右端に位置している。同様、静電容量型センサ3aに対してY軸方向に位置する静電容量型センサ3c、3eの位置は、その中心がそれぞれターゲット2cの下端、ターゲット2eの上端に位置している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被測定物に取り付けられたターゲットとの間の静電容量を測定し、測定された静電容量に基づいて前記被測定物の3次元の位置を測定する位置測定装置であって、3種の静電容量型センサを有し、前記ターゲットの面をX-Y平面とするX-Y-Z三次元直交座標系において、第1種の静電容量型センサの出力は、X方向、Y方向の測定範囲内において前記ターゲットがX方向、Y方向に位置変動しても変化せず、Z方向に位置変動した場合に変化するように、第2種の静電容量型センサの出力は、Y方向の測定範囲内において前記ターゲットがY方向に位置変動しても変化せず、X方向の測定範囲内において前記ターゲットがX方向に位置変動した場合に変化するように、第3種の静電容量型センサの出力は、X方向の測定範囲内において前記ターゲットがX方向に位置変動しても変化せず、Y方向の測定範囲内において前記ターゲットがY方向に位置変動した場合に変化するように、それぞれの静電容量型センサとターゲットの位置関係が定められていることを特徴とする静電容量型3次元位置測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
2F063AA04
, 2F063BA28
, 2F063BD15
, 2F063CA34
, 2F063CB00
, 2F063CC10
, 2F063DA01
, 2F063DA05
, 2F063DC08
, 2F063DD06
, 2F063HA01
, 2F063HA04
, 2F063HA05
, 2F063HA11
, 2F063LA23
, 2F063PA04
