特許
J-GLOBAL ID：200903049015328759
回折格子製作用成形型およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-075348
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258511
出願日： 1993年03月09日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 ブレーズト波長ずれの少ない回折格子製作用成形型の製造コストを低減する。【構成】 石英等で作られた基板1の表面にエッチングによって段差2aを有する溝2を形成したのち、基板1にスパッタリングによる成膜処理を施すことで、溝2の底面2bと、段差2aの表面と、基板1の残りの平坦面2cにそれぞれ薄膜3a,3b,3cを成膜する。前記スパッタリングにおいて移動シャッタの移動速度を制御することで、各薄膜3a〜3cの膜厚を溝2の長さの中央から両端に向って増大させる。
請求項（抜粋）：
少くとも1個の回折格子の形状をもつ凹所を備えた基板と、前記凹所の底面および段差のそれぞれに成膜された薄膜からなり、前記薄膜の膜厚が、前記凹所の長さ方向に変化していることを特徴とする回折格子製作用成形型。
IPC (3件)：
G02B 5/18
, C23C 14/34
, C23F 4/00
