特許

J-GLOBAL ID：200903049018619584

表面検査装置

発明者： 大重 貴彦 ,  的場 有治 ,  風間 彰 ,  河村 努
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-297894
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178666
出願日： 1996年10月23日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】高速で移動している鋼板表面の疵の種類と等級を精度良く検出することは困難であった。【解決手段】鋼板4表面からの反射光をビ-ムスプリッタ7a〜7cで分割して異なる3種類の偏光をリニアアレイカメラ8a〜8cで測定する。ビ-ムスプリッタ7a〜7cは表面にスリット72を有するオプティカルフラット71で構成し、反射光に多重反射光が含まれることを防ぐ。信号処理部10は測定した偏光画像信号を処理し、被検査面の表面反射光のエリプソパラメ-タである振幅反射率比tanΨと位相差Δ及び反射光強度I0を演算し、演算した振幅反射率比tanΨと位相差及び反射光強度I0から被検査面の表面疵の種類と等級を判定する。

請求項（抜粋）：

投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部は被検査面の幅方向全体にわたり偏光光束を入射し、受光部は被検査面からの反射光を入射し画像信号に変換するものであり、被検査面からの反射光を3本のビ-ムに分割するビ-ムスプリッタと、分離された3本のビ-ムの光路にそれぞれ設けられ、それぞれ異なる方位角を有する検光子と、各検光子を透過した光を受光するリニアアレイカメラを有し、ビ-ムスプリッタは被検査面からの反射光を入射して反射光と透過光に分割する第1のオプティカルフラットと、第1のオプティカルフラットからの透過光を入射して反射光と透過光に分割する第2のオプティカルフラットと、第1のオプティカルフラットからの反射光を入射して反射光と透過光に分割する第3のオプティカルフラットと、各オプティカルフラットに設けられ、表面反射光だけを出射し、裏面からの反射光を遮光する遮光手段とを有し、信号処理部は受光部の各リニアアレイカメラからの偏光画像信号を処理し、被検査面の反射光のエリプソパラメ-タである振幅反射率比tanΨと位相差Δ及び反射光強度I0を演算し、演算した振幅反射率比tanΨと位相差Δ及び反射光強度I0から被検査面の表面疵の種類と等級を判定することを特徴とする表面検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G01N 21/89 B ,  G01B 11/30 E ,  G01N 21/88 J