特許

J-GLOBAL ID：200903049018969151

カーボンナノチューブの製造方法とカーボンナノチューブ・デバイス

発明者： 山口 作太郎
出願人/特許権者： 株式会社ワイ・ワイ・エル
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-348863
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186245
出願日： 2002年11月29日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：

【課題】配向性の高いカーボンナノチューブ膜に新たな機能を追加する方法、及び新たな機能を具備する素子の提供。【解決手段】SiC基板表面に垂直方向に向けて延在するように形成される複数のカーボンナノチューブよりなるカーボンナノチューブ膜を有する基板の、前記カーボンナノチューブ膜が設けられる側とは反対側から、不純物を導入し、P型又はN型素子を形成する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板上に、該基板の厚み方向に延びるように配向して形成される複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブ膜が、不純物を含み、能動素子として作用するようにしてなる、ことを特徴とするカーボンナノチューブ・デバイス。

IPC (10件)：

H01L35/14 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  C01B31/02 ,  H01L21/331 ,  H01L29/73 ,  H01L29/74 ,  H01L29/861 ,  H01L35/32 ,  H01L35/34

FI (9件)：

H01L35/14 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  C01B31/02 101F ,  H01L35/32 A ,  H01L35/34 ,  H01L29/91 F ,  H01L29/72 ,  H01L29/74 Z

Fターム (17件)：

4G146AA11 ,  4G146AB07 ,  4G146AD30 ,  4G146BA38 ,  4G146BC03 ,  4G146BC08 ,  4G146BC27 ,  5F003BM01 ,  5F003BP01 ,  5F003BP21 ,  5F003BP41 ,  5F003BP46 ,  5F003BZ01 ,  5F003BZ04 ,  5F005AH01 ,  5F005AH04 ,  5F005BB01