特許

J-GLOBAL ID：200903049019124597

クリーンルームの天井構造

発明者： 海上 修一 ,  内海 照男 ,  小野寺 敏雄
出願人/特許権者： 日立プラント建設株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-020631
公開番号（公開出願番号）：特開平10-220835
出願日： 1997年02月03日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】ファンフィルタユニットから噴き出された清浄エアによる渦の発生を防止する。【解決手段】ファンフィルタユニット12の周縁を保持する支持部材に、吸気用孔72、73、74、76を形成して、クリーンルーム10と天井空間78とを連通する。そして、ファンフィルタユニット12の周辺のエアを、即ち、従来渦が発生していた領域のエアを、ファンフィルタユニット12のファンにより、前記吸気用孔72、73、74、76を介して天井空間78に吸引する。これにより、前記エアは、その領域に滞留しなくなるので、渦の発生を防止することができる。

請求項（抜粋）：

クリーンルームに清浄エアを供給するファンフィルタユニットが、クリーンルームの天井面に設置されたクリーンルームの天井構造において、前記ファンフィルタユニットの周縁を保持する支持部材に吸気用孔を形成すると共に、クリーンルーム側のファンフィルタユニットとファンフィルタユニットの間のエアを前記吸気用孔を介して天井裏空間側に吸引することを特徴とするクリーンルームの天井構造。

IPC (4件)：

F24F 7/06 ,  B01D 46/00 ,  B01D 46/42 ,  E04B 9/00

FI (4件)：

F24F 7/06 C ,  B01D 46/00 Z ,  B01D 46/42 Z ,  E04B 5/52 E