特許
J-GLOBAL ID：200903049028658022
マイクロ波放電型イオンビーム装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-114719
公開番号（公開出願番号）：特開平5-314917
出願日： 1992年05月07日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 ECR共鳴磁界のスリット長手方向の一様性を高め、質のよいイオンビームが得られるマイクロ波放電型イオンビーム装置を得る。【構成】 プラズマ室4に到達したマイクロ波1は、楕円形のコイル12によって発生した磁界と共に、原料ガスに作用してプラズマ13を発生する。このプラズマ13は引出しスリット8とサプレッサー電極9間の電圧によってイオンビーム10として引出される。楕円形コイル12によって発生する磁界は、引出しスリット8の長手方向に一様となり、プラズマ密度を一様にしてイオンビーム10の電流値を一様にする。
請求項（抜粋）：
マイクロ波を発生して伝達するマイクロ波生成手段と、このマイクロ波を入射して原料ガスをイオン化するプラズマ室と、イオンビームの引出し方向に平行な磁界を上記プラズマ室に印加する磁界生成手段と、上記プラズマ室に設けられ、プラズマからイオンを引出すための矩形の開口を有するマイクロ波放電型イオンビーム装置において、上記磁界生成手段として、磁界を生成するコイルの径を、上記矩形の開口の長軸方向に比べ、短軸方向に短くした事を特徴とするマイクロ波放電型イオンビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 27/16
, H01J 37/08
, H05H 7/08
