ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-060716
公開番号（公開出願番号）：特開2004-271767
出願日： 2003年03月07日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】フォトレジスト工程で一般的に用いられるアルカリ現像が可能であり、現像時の密着性が高く、高感度などの現像特性に優れ、かつ解像度に優れた感光特性を有し、しかも耐熱性、透明性、低誘電率、低吸水率、高段差平坦化性などの絶縁膜としての諸特性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供することにある。【解決手段】本発明は、アルカリ可溶性樹脂と、1,2-キノンジアジド化合物と、2個以上のエポキシ基を含有する架橋性化合物とを含有し、アルカリ可溶性樹脂が、α-メチレン-γ-ブチロラクトン構造を有するモノマー20〜60モル%、アクリル酸エステルモノマー20〜60モル%、メタクリル酸モノマー10〜25モル%、チオール系連鎖移動剤1〜10モル%を含むモノマーの共重合体であることを特徴とする、ポジ型感光性樹脂組成物によって達成される。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂と、1,2-キノンジアジド化合物と、2個以上のエポキシ基を含有する架橋性化合物とを含有し、アルカリ可溶性樹脂が、α-メチレン-γ-ブチロラクトン構造を有するモノマー20〜60モル%、アクリル酸エステルモノマー20〜60モル%、メタクリル酸モノマー10〜25モル%、チオール系連鎖移動剤1〜10モル%を含むモノマーの共重合体であることを特徴とする、ポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F7/033 , G03F7/023

FI (2件)：

G03F7/033 , G03F7/023

Fターム (20件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AA20 , 2H025AB13 , 2H025AB14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB08 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB55 , 2H025CB56 , 2H025CC17 , 2H025FA17

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