複数の薄膜部品を含むスクリーン形の可撓性電子デバイスを製造する方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：川口義雄 , 小野誠 , 渡邉千尋 , 金山賢教 , 大崎勝真 , 坪倉道明
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-541786
公開番号（公開出願番号）：特表2009-516863
出願日： 2006年11月20日
公開日（公表日）： 2009年04月23日
要約：

ガラス支持体上に複数の薄膜部品を含むスクリーン形の薄膜可撓性電子デバイスを製造することを目的とする。リジッドバルク基板(32)と、このリジッドバルク基板に可逆的直接接合によって固定されたガラスシート(31)とを含み、分離可能な境界面(33)を得る出発支持体が準備される。複数の薄膜部品(41から49)が、このガラスシート上に製造される。複数の薄膜部品が製造されたガラスシートが、境界面(33)を分解することによってリジッドバルク基板から分離される。このガラスシートおよび複数の薄膜部品は、最終支持体に転写されることが有利である。

請求項（抜粋）：

ガラス支持体上に複数の薄層部品を含むスクリーン形の可撓性電子デバイスを製造する方法であって、リジッドバルク基板(31)と、可逆的直接接合によってリジッドバルク基板に取り付けられたガラスフィルム(32)とを含み、剥離可能な境界面(33)を得る出発支持体が準備されるステップと、複数の薄層部品(41から49)がこのガラスフィルム上に製造されるステップと、複数の薄層部品が製造されたガラスフィルムが、境界面を剥離することによってリジッドバルク基板から分離されるステップと、を含む方法。

IPC (7件)：

G09F 9/00 , G02F 1/136 , H05B 33/10 , H01L 51/50 , G02F 1/167 , G02F 1/133 , G09F 9/30

FI (7件)：

G09F9/00 342 , G02F1/1368 , H05B33/10 , H05B33/14 A , G02F1/167 , G02F1/1333 500 , G09F9/30 308Z

Fターム (47件)：

2H090JB03 , 2H090LA04 , 2H092JA24 , 2H092JA28 , 2H092JA34 , 2H092JA37 , 2H092JA46 , 2H092JB56 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KA07 , 2H092MA02 , 2H092NA25 , 2H092PA01 , 3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC42 , 3K107CC45 , 3K107DD12 , 3K107DD15 , 3K107DD16 , 3K107DD17 , 3K107EE03 , 3K107FF08 , 3K107FF15 , 3K107GG09 , 5C094AA14 , 5C094AA15 , 5C094AA31 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094BA75 , 5C094CA19 , 5C094DA05 , 5C094DA06 , 5C094EB10 , 5C094GB10 , 5C094JA08 , 5G435AA14 , 5G435AA17 , 5G435AA18 , 5G435BB05 , 5G435BB11 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435KK05

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