不良セル救済解析装置および救済解析方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-338584
公開番号（公開出願番号）：特開平8-185700
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】被測定試料の測定結果をもとに、不良セルと予備セルとの置き換えを解析し、不良セルを救済する不良セル救済解析装置を提供する。【構成】複数のメモリセルからなる、少なくとも1つのセルプレートを備え、XおよびYのアドレスラインに対応する複数の冗長な予備セルを備える被測定試料1を測定する測定部2と、測定部2の出力を入力とするフェイルメモリ部3と、フェイルメモリ部3と測定部2の出力を入力とし、救済解析結果を測定結果6に出力する測定情報処理部4を備える不良セル救済解析装置において、不良セル救済解析部5を設け、フェイルメモリ部3の不良セル情報を2次フェイルメモリ部5aに保持し、救済アドレス発生部5cで予備セルのアドレスを発生して2次フェイルメモリ部5aに入力し、救済解析結果判定部5bは被測定試料1が予備セルにより救済可能か判定して、測定結果6に出力する。

請求項（抜粋）：

複数のメモリセルからなる、少なくとも1つのセルプレートを備え、XおよびYのアドレスラインに対応する複数の冗長な予備セルを備える被測定試料(1) を測定する測定部(2) と、測定部(2) の出力を入力とするフェイルメモリ部(3) と、フェイルメモリ部(3) と測定部(2) の出力を入力とし、救済解析結果を測定結果(6) に出力する測定情報処理部(4) を備える不良セル救済解析装置において、フェイルメモリ部(3) の不良セル情報を保持する2次フェイルメモリ部(5a)と、予備セルのアドレスを発生し、2次フェイルメモリ部(5a)に入力する救済アドレス発生部(5c)と、2次フェイルメモリ部(5a)の出力を入力とし、被測定試料(1) が予備セルにより救済可能か判定して、測定結果(6) に出力する救済解析結果判定部(5b)と、救済解析判定部(5b)と救済アドレス発生部(5c)を制御する制御部(5d)を備える不良セル救済解析部(5) を設けることを特徴とする不良セル救済解析装置および救済解析方法。

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-186600
特開平1-098197
特開昭59-207496

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審査官引用 (16件)

特開平4-186600
特開平4-186600
特開平4-186600

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