感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-286170
公開番号（公開出願番号）：特開2000-112122
出願日： 1998年10月08日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】高解像度、高細線密着性の厚膜ファインパターンが得られる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】酸価が95〜200mgKOH/g、Tg点が50〜120°Cで、重量平均分子量が10,000〜200,000のベースポリマー(A)、ジペンタエリスリトールポリアルコキシレートペンタ及び/又はヘキサ(メタ)アクリレート(B)、光重合開始剤(C)及び任意成分として(B)成分以外のエチレン系不飽和化合物(D)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

酸価が95〜200mgKOH/g、Tg点が50〜120°C、重量平均分子量が10,000〜200,000のベースポリマー(A)、ジペンタエリスリトールポリアルコキシレートペンタ及び/又はヘキサ(メタ)アクリレート(B)、光重合開始剤(C)及び任意成分として(B)成分以外のエチレン系不飽和化合物(D)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/027 502 , G03F 7/004 512 , G03F 7/032

FI (3件)：

G03F 7/027 502 , G03F 7/004 512 , G03F 7/032

Fターム (14件)：

2H025AA01 , 2H025AA03 , 2H025AA14 , 2H025AA16 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC31 , 2H025BC43 , 2H025CA00 , 2H025CB51 , 2H025CB55 , 2H025CB60

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