特許
J-GLOBAL ID:200903049036069729

プローブ組立体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松永 宣行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-147922
公開番号(公開出願番号):特開平5-322930
出願日: 1992年05月15日
公開日(公表日): 1993年12月07日
要約:
【要約】【目的】 高密度に配置されたプローブを有するプローブ組立体を、容易にかつ廉価に製作できるようにすることにある。【構成】 本発明のプローブ組立体は、第1の方向へ互いに平行に伸びかつ前記第1の方向と交差する第2の方向へ互いに間隔をおいて配置された複数のプローブと、該プローブを一体的に結合する電気的絶縁材料製の板状の基部とを有する複数の針ブロックを含み、該針ブロックは前記基部の厚さ方向に積み重ねられて固定されていることを特徴とする。
請求項(抜粋):
第1の方向へ互いに平行に伸びかつ前記第1の方向と交差する第2の方向へ互いに間隔をおいて配置された複数のプローブと、該プローブを一体的に結合する電気的絶縁材料製の板状の基部とを有する複数の針ブロックを含み、該針ブロックは前記基部の厚さ方向に積み重ねられて固定されている、プローブ組立体。
IPC (2件):
G01R 1/073 ,  G01R 31/28
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平2-012070
  • 特開昭63-017540

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