特許
J-GLOBAL ID：200903049056307367
マイクロポンプの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241469
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079460
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、複数のマイクロポンプを切断分離する工程において、コンタミによりマイクロポンプが汚染されるのを防ぎ、マイクロポンプの性能を向上、安定化させる事にある。【構成】 本発明は、複数個のマイクロポンプ構造体が形成されたガラスとシリコンの積層基板の分離工程で、ガラス基板の流入、吐出用穴部のある側にプラスティックフィルムをラミネートした後に切断加工、あるいは予めガラス基板及びシリコン基板に溝加工を行い、接合後にブレーク分離する事を特徴とする。【効果】 ガラス基板の流入、吐出用穴部のある側にプラスティックフィルムをラミネートする、あるいは予めガラス基板及びシリコン基板に溝加工を行い接合、分離する事により加工液、素材粉の穴部よりの侵入をなくす事ができる。
請求項（抜粋）：
ダイアフラム、流路、及びバルブ部を形成したシリコン基板を、上下のガラス基板でサンドイッチした構造を有するマイクロポンプの製造方法において、複数のマイクロポンプ構造体が形成されたシリコン基板と上下ガラス基板の接合後、個々のマイクロポンプに切断分離する工程で、ガラス基板の液体流入、吐出用穴部のある側にプラスティックフィルムをラミネートした事を特徴とするマイクロポンプの製造方法。
IPC (2件)：
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