特許

J-GLOBAL ID：200903049067129339

微細加工装置

発明者： 山本 ▲琢▼磨 ,  中桐 伸行 ,  中野 勝志 ,  鈴木 美彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-190472
公開番号（公開出願番号）：特開平9-251979
出願日： 1996年07月19日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】固体の表面を傷付けることなく、微細な固体の表面の局所的な領域に的確に流体を供給する。【解決手段】本微細加工装置は、光てこ方式のAFM(原子間力顕微鏡)のマイクロてこ10を、固体A表面に流体Bを供給するマイクロピペットとして利用する。すなわち、マイクロてこ10は、流体Bを蓄える空洞10aと、先端に流体Bを流出させる十字型の開口10cが形成された触針10bを有する。そして、マイクロてこ10の走査で観察されるAFM像に基づいて、固体Aの表面の所定の位置に触針を位置付けた後、ヒータ13の加熱により空洞10a内部の圧力を上昇させることにより、触針10b先端の開口10cから流体Bを固体Aの表面に供給することができる。また、逆に、ヒータ13で空洞10a内部を冷却すれば、貯蔵容器14から流体Bを採取することができる。

請求項（抜粋）：

加工物の表面に加工を施す微細加工装置であって、前記加工物の表面を加工する流体を蓄える貯蔵部と、前記加工物の表面に向かって前記流体を射出する開口が形成された加工部と、前記加工部に形成された開口と前記貯蔵部との間に設けられた流体路と、前記貯蔵部から前記流体路を介して前記加工部に形成された開口に供給され、当該開口から前記加工物の表面に向かって射出される前記流体の流量を制御する流量制御手段とを備えることを特徴とする微細加工装置。

IPC (3件)：

H01L 21/306 ,  G01N 37/00 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

H01L 21/306 J ,  G01N 37/00 F ,  H01L 21/302 J ,  H01L 21/306 Z