特許

J-GLOBAL ID：200903049079182650

アクチュエータ装置の検査方法及びインクジェット式記録ヘッドの検査方法

発明者： 張 俊華
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-137281
公開番号（公開出願番号）：特開2003-326723
出願日： 2002年05月13日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】 圧電素子の駆動による振動板の変位特性を比較的正確に識別することのできるアクチュエータ装置の検査方法及びインクジェット式記録ヘッドの検査方法を提供する。【解決手段】 圧電素子が駆動可能な条件で、所定電圧を圧電素子に印加して圧電体層の静電容量を測定する駆動測定工程を少なくとも実行することにより、その特性を識別する。

請求項（抜粋）：

圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側の前記圧力発生室に対向する領域に振動板を介して設けられた圧電素子とを有し、該圧電素子を撓み変位させることにより前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせるアクチュエータ装置の検査方法であって、前記圧電素子が駆動可能な条件で所定電圧を前記圧電素子に印加して前記圧電体層の静電容量を測定する駆動測定工程を少なくとも実行することにより、その特性を識別することを特徴とするアクチュエータ装置の検査方法。

IPC (5件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 C

Fターム (9件)：

2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG48 ,  2C057AG91 ,  2C057AP16 ,  2C057AP82 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14