電鋳型とその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-367976
公開番号（公開出願番号）：特開2006-169620
出願日： 2004年12月20日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：

【課題】多段構造体の各底面に電極を有する電鋳型とその製造方法を提供すること。【解決手段】電鋳法で用いられ、二層以上の多段構造を有する電鋳型において、導電性を有する導電体を有し、導電体上に階段状に形成された樹脂と、樹脂の各層の上に形成された電極とを有し、導電体および電極の少なくとも一部が露出され、電極が樹脂よりも突出した形状を有していることを特徴とする電鋳型とした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電鋳法で用いられ、二層以上の多段構造を有する電鋳型において、導電性を有する導電体を有し、前記導電体上に階段状に形成された樹脂と、前記樹脂の各層の上に形成された電極とを有し、前記導電体および前記電極の少なくとも一部が露出され、前記電極が前記樹脂よりも突出した形状を有していることを特徴とする電鋳型。

IPC (5件)：

C25D 1/10 , B81B 1/00 , B81C 1/00 , B81C 5/00 , G03F 7/40

FI (5件)：

C25D1/10 , B81B1/00 , B81C1/00 , B81C5/00 , G03F7/40 521

Fターム (6件)：

2H096AA27 , 2H096BA01 , 2H096CA05 , 2H096EA02 , 2H096HA27 , 2H096JA10

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭52-60241号公報
多重露光用マスク及びこれを用いたマイクロマシンの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-165811 出願人：住友重機械工業株式会社

審査官引用 (1件)

マイクロ構造体の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-106295 出願人：キヤノン株式会社

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