特許

J-GLOBAL ID：200903049083801829

原子間力顕微鏡及び記録再生装置及び再生装置

発明者： 新庄 克彦 ,  黒田 亮 ,  川瀬 俊光 ,  宮▲崎▼ 俊彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-020672
公開番号（公開出願番号）：特開平5-187866
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【構成】 光てこ式原子間力顕微鏡であり、プローブを設けたメインカンチレバーの他に補助カンチレバーを設け、該補助カンチレバー先端と試料近傍に副反射部を設け、上記メインのカンチレバー先端に設けた主反射部の3点からの反射光を同時に測定し、プローブと試料の相対的位置変化を補償する原子間力顕微鏡。【効果】 振動等外部からの影響を受けず、ひじょうに精度が高く、高感度測定を行うことができる。

請求項（抜粋）：

試料表面を測定するために変位可能な梁型プローブを有し、該梁に設けた表面情報を検出する為の第1の受光部と、測定の為の変位が実質的に生じない部分に設けた第2の受光部からの光をそれぞれ測定することにより、上記プローブと試料の相対的位置変化を補償して試料表面情報測定を行なうことを特徴とする原子間力顕微鏡。

IPC (3件)：

G01B 21/30 ,  G01B 11/30 ,  G11B 9/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-162341
  
• 特開平3-071001
  
• 特開昭63-309802