特許
J-GLOBAL ID：200903049085492645
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-030039
公開番号（公開出願番号）：特開平7-239551
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 1対の原版フィルムのパターンを基板の両面に精度よく同時に露光する。【構成】 基板3の両面に同時露光する露光部4は、下原版フィルム1を保持する下枠8と、下枠8と対向し上原版フィルム2を保持する上枠9と、両枠の上下の露光用光源12,13と、両枠の位置を調整する第1のアライメント手段10と、下枠8の透明板14上の透明電極15と、透明電極15の切欠部15aと対向的に下原版フィルム1上に配設される電極板22とを有している。両枠間に搬送される基板3は、第2のアライメント手段19により位置合わせされた状態で、電極板22と透明電極15間に電界が印加されて基板下面の銅箔(図示せず。)と透明電極との間に生じる静電気により、下原版フィルム1を介して透明板14に強固に吸着保持され、位置ずれを生じる恐れがない。この状態で光源12,13を点灯すると基板3上下両面に同時に精度よく露光できる。
請求項（抜粋）：
1対の原版フィルムを基板の上下に配設した状態で上記基板の両面に同時露光可能な露光部を含み、上記露光部は、下原版フィルムを保持する下枠と、上記下枠と対向して設けられ上原版フィルムを保持する上枠と、上記両枠間に配設された上記基板の両面に上記両原版フィルムを介して露光可能な1対の露光用光源と、上記両枠の相対位置関係を調整可能な枠位置合わせ手段と、上記下原版フィルムを介して上記基板を上記下枠に固定的に吸着保持する静電吸着手段とを有するものであり、上記静電吸着手段は、上記下枠内の透明板に形成され上記下原版フィルムを介して上記基板と対向する透明電極と、上記下原版フィルム上に設けられた電極板とを有し、上記基板を吸着保持するための静電気を発生させる電界が上記透明電極と上記電極板との間に印加されるようになっていることを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
G03F 7/20 511
, G03B 27/18
, H01L 21/027
, H05K 3/00
