特許
J-GLOBAL ID：200903049085664098

表示装置の製造方法、表示装置用基板の検査方法及び表示装置用基板の検査装置

発明者：
山崎 昭典

山崎 昭典 について

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原口 克郎

原口 克郎 について

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西脇 一雅

西脇 一雅 について


出願人/特許権者：
NECプラズマディスプレイ株式会社

NECプラズマディスプレイ株式会社 について

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日本電気エンジニアリング株式会社

日本電気エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-275696
公開番号（公開出願番号）：特開2005-037281
出願日： 2003年07月16日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】 基板上に形成されたパターンにおける全ての欠陥を自動検出できる表示装置の製造方法、表示装置用基板の検査方法及び表示装置用基板の検査装置を提供する。 【解決手段】 基板1をコンベア6により一定速度で移動させ、照明装置7a及び7bにより基板1の検査対象部分1aに光を照射すると共に、CCDカメラ8aによりパターンを撮像する。撮像された画像データを画像記憶装置10に保存し、画像処理装置11によりパターンエッジ、横方向及び縦方向のセル境界を識別して、1個ずつのセルに切り分ける。セル毎に状態判定を行い、データに変換する。このデータをデータ処理装置12により、ミクロ欠陥及びマクロ欠陥の良否判定を行い、基板良否判定を行う。この判定結果をモニタ13に転送し、ミクロ欠陥及びマクロ欠陥共に検査結果として表示すると共に、データ保存装置14に保存する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
絶縁性基板の一方の面にセルを区画する境界を形成する工程と、前記セル毎に着色材料又は発色材料を被着させる工程と、前記基板の一方の面又は他方の面に光を照射し、その反射光又は透過光のパターンから個々のセルにおける前記着色材料又は発色材料の被着状態を判別することにより欠陥を検出して前記基板を検査する工程と、を有することを特徴とする表示装置の製造方法。
IPC (5件)：
G01N21/956 ,  G02F1/13 ,  G09F9/00 ,  H01J9/42 ,  H01J11/02
FI (5件)：
G01N21/956 Z ,  G02F1/13 101 ,  G09F9/00 352 ,  H01J9/42 A ,  H01J11/02 Z
Fターム (24件)：
2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051BA02 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12 ,  2G051EC01 ,  2G051ED09 ,  2H088FA13 ,  2H088HA06 ,  5C012AA09 ,  5C012BE03 ,  5C040JA26 ,  5C040JA31 ,  5G435AA17 ,  5G435BB02 ,  5G435BB06 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435CC12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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