特許

J-GLOBAL ID：200903049091567568

ウェーハノッチ寸法測定装置

発明者： 下山 繁俊 ,  荒巻 甲子吉
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-055604
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260432
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 短時間にノッチ寸法、即ちノッチ深さ及びノッチ角度を同時に測定するとともに、測定者による測定値のバラツキをなくすことを可能とした新規なウェーハノッチ寸法測定装置を提供する。【構成】ノッチを有するウェーハのノッチ寸法を測定するウェーハノッチ寸法測定装置において、(a)該ウェーハを回転せしめる回転手段と、(b)投光部と受光部とを該ウェーハの周縁形状を読み取るように配置し、該ウェーハの周縁形状に応じたウェーハ周縁検出信号を出力するウェーハ周縁検出手段と、(c)上記回転するウェーハの回転角位置を検出し、ウェーハ回転角位置検出信号を出力するウェーハ回転角位置検出手段と、(d)該ウェーハ周縁検出信号とウェーハ回転角位置検出信号とからノッチ寸法を演算する演算手段と、を有する。

請求項（抜粋）：

ノッチを有するウェーハのノッチ寸法を測定するウェーハノッチ寸法測定装置において、(a)該ウェーハを回転せしめる回転手段と、(b)投光部と受光部とを該ウェーハの周縁形状を読み取るように配置し、該ウェーハの周縁形状に応じたウェーハ周縁検出信号を出力するウェーハ周縁検出手段と、(c)上記回転するウェーハの回転角位置を検出し、ウェーハ回転角位置検出信号を出力するウェーハ回転角位置検出手段と、(d)該ウェーハ周縁検出信号とウェーハ回転角位置検出信号とからノッチ寸法を演算する演算手段と、を有することを特徴とするウェーハノッチ寸法測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/26 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-294904
  
• 特開昭62-294904
  
• 特開平3-251346