スピンバルブ型薄膜磁気素子およびこのスピンバルブ型薄膜磁気素子を備えた薄膜磁気ヘッド

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-160992
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345495
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】本発明はスピンバルブ型の薄膜磁気素子の構造のバックド層の結晶配向性を良好にして抵抗変化率の向上を図ることを目的とする。更に本発明は、スピンバルブ型の構造においてバックド層に隣接させるフリー磁性層の保磁力を低減し、軟磁気特性を向上させ、検出感度を向上させることを目的とする。【解決手段】本発明は、反強磁性層と、これとの交換結合磁界により磁化方向が固定される固定磁性層と、固定磁性層の磁化方向と交差する方向へ磁化方向が揃えられたフリー磁性層と、フリー磁性層の非磁性導電層側に対する逆側に接して形成された非磁性導電材料からなるバックド層とを具備、前記バックド層をRu、Pt、Ir、Rh、Pd、Os、Crの中から選択される1種または2種以上の金属または合金からなるものとした。

請求項（抜粋）：

基板上に、反強磁性層と、該反強磁性層と接して形成され、前記反強磁性層との交換結合磁界により磁化方向が固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性導電層を介して形成され、前記固定磁性層の磁化方向と交差する方向へ磁化方向が揃えられたフリー磁性層と、このフリー磁性層の前記非磁性導電層側に対する逆側に接して形成された非磁性導電材料からなるバックド層とを有し、前記バックド層がRu、Pt、Ir、Rh、Pd、Os、Crの中から選択される1種または2種以上の金属または合金からなることを特徴とするスピンバルブ型薄膜磁気素子。

IPC (7件)：

H01L 43/08 , G01R 33/09 , G11B 5/39 , H01F 10/06 , H01F 10/12 , H01F 10/14 , H01F 10/32

FI (7件)：

H01L 43/08 Z , G11B 5/39 , H01F 10/06 , H01F 10/12 , H01F 10/14 , H01F 10/32 , G01R 33/06 R

Fターム (21件)：

2G017AA03 , 2G017AC09 , 2G017AD55 , 2G017CA01 , 2G017CB24 , 2G017CC04 , 5D034BA03 , 5D034BA04 , 5D034BA05 , 5D034BA12 , 5D034CA02 , 5D034CA08 , 5E049AA04 , 5E049AA07 , 5E049AA09 , 5E049AA10 , 5E049AC00 , 5E049AC05 , 5E049BA12 , 5E049BA16 , 5E049DB12

引用特許：

審査官引用 (2件)

磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-097072 出願人：株式会社東芝
磁気抵抗効果型磁気ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-036587 出願人：日立金属株式会社

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