特許
J-GLOBAL ID：200903049093767203
搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-268187
公開番号（公開出願番号）：特開平7-097049
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】 真空トンネルを遮断するゲートバルブの取外しが、トンネルを移動させることなしに行うことのできるメンテナンスの容易な搬送装置を提供する。【構成】 隔壁により包囲されたトンネル1内を、被搬送物を外気から遮断された状態で搬送する搬送装置において、前記トンネル1の端面近くの上又は下に開口部17を有し、前記トンネル1を遮断するゲートバルブ11を前記開口部17に気密シール20を介して取付けた。
請求項（抜粋）：
隔壁により包囲されたトンネル内を、被搬送物を外気から遮断された状態で搬送する搬送装置において、前記トンネルの端面近くの上又は下に開口部を有し、前記トンネルを遮断するゲートバルブを前記開口部に気密シールを介して取付けたことを特徴とする搬送装置。
IPC (4件)：
B65G 54/02
, B65G 49/00
, H01L 21/68
, H02K 41/02
