特許
J-GLOBAL ID：200903049095917911
流体フローセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-064468
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011374
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】流体流れの流量を広い範囲で検出することができ、信頼性に優れる流体フローセンサを得る。【構成】半導体基体1に誘電体膜4を介して橋絡部3を形成するとともにこの橋絡部3の上に4個の薄膜熱感知体11,12,13,14を形成し、この薄膜熱感知体をホィートストンブリッジ回路に組む。薄膜熱感知体を加熱体としてまた抵抗測温体として用いる。
請求項（抜粋）：
半導体基体に設けられた橋絡部と、薄膜熱感知体とを有し、橋絡部は誘電体膜から成るとともに薄膜熱感知体を支持し、薄膜熱感知体は加熱体であるとともに測温抵抗体であり、同種の4個のものがホィートストンブリッジ回路を構成するものであることを特徴とする流体フローセンサ。
IPC (2件)：
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