特許

J-GLOBAL ID：200903049097388371

カラーフィルタの製造方法

発明者： 竹村 素子
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017170
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211910
出願日： 1998年01月29日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】 顔料分散カラーレジストを用いて精度良く重ね合わせマークを検出することのできるカラーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】 重ね合わせマークを有する基板の表面に、顔料粒子を含むレジスト溶液を前記重ね合わせマークが検出可能な厚さに塗布した後、乾燥、露光および現像する操作を必要な回数繰り返して所望の膜厚の多数のカラーフィルタ単位を形成するカラーフィルタの製造方法。

請求項（抜粋）：

重ね合わせマークを有する基板の表面に、顔料粒子を含むレジスト溶液を前記重ね合わせマークが検出可能な厚さに塗布した後、乾燥、露光および現像する操作を必要な回数繰り返して所望の膜厚の多数のカラーフィルタ単位を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 9/00

FI (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 9/00 Z