特許
J-GLOBAL ID:200903049103291199
超音波厚み測定方法および装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西教 圭一郎
, 廣瀬 峰太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-320106
公開番号(公開出願番号):特開2004-156917
出願日: 2002年11月01日
公開日(公表日): 2004年06月03日
要約:
【課題】超音波の波長が温度によって変動しても、容易かつ高精度に厚みを測定することができるようにする。【解決手段】フィルム2に超音波5を透過させ、受信強度からフィルム2の厚みを測定する。送信側変換器3を駆動する送信回路8は、鋸歯状波発生回路10が発生する鋸歯状波でVCO11を制御し、(b)に示すflからfhまでの周波数範囲の超音波を連続的に発生させる。受信側変換器4の周波数特性が(b)の点線に示すようにばらついていても、超音波5にはその特性に適合する成分が含まれるので、十分な受信出力を得ることができる。受信出力は、RMS演算器13で実効値を算出され、膜厚換算器14で予めサンプルなどで得られている対応データに基づいて、膜厚に換算される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
一定の間隔で対向配置される電気超音波変換器を使用して、対象物に対して超音波を送信し、透過した超音波の受信強度に基づいて対象物の厚みを測定する超音波厚み測定方法において、
対象物に照射する超音波に、測定する温度範囲での音速の変化に伴って波長が変化しても、波長に関する超音波の測定条件が同一となる周波数を含むように、予め設定される設定範囲にわたる周波数成分を含ませておき、
対象物を透過した超音波の受信強度を、該設定範囲にわたる周波数を対象として判定することを特徴とする超音波厚み測定方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (13件):
2F068AA28
, 2F068BB05
, 2F068BB24
, 2F068DD09
, 2F068EE03
, 2F068FF02
, 2F068FF11
, 2F068FF24
, 2F068GG01
, 2F068JJ22
, 2F068KK15
, 2F068PP04
, 2F068QQ09
引用特許:
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