特許
J-GLOBAL ID：200903049106252100
表面検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 幹夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-164632
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003282
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 物体表面の色むらを消去し、異物のS/N比を大きくして被検査物の表面を、高い検出能力でCCDカメラを用いて検査する。【構成】 除去したい色むらの色フィルタ3がレンズ前に設置されたCCDカメラ2を用いて被検査物1の表面を検査する。被検査物1を照明4によって照度アップするとフィルタによる画像の輝度低下が抑えられ感度低下が阻止できるので好ましい。
請求項（抜粋）：
除去したい色むらの色フィルタがレンズ前に設置されたCCDカメラを用いて被検査物の表面を検査することを特徴とする表面検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01J 1/04
