3次元集積回路インダクタ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：合田潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-013440
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250332
出願日： 1996年01月30日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【課題】標準の集積回路製作技法により製造される3次元インダクタを提供する。【解決手段】第1の組の平面導電ワイヤを基板上に形成する。次に、磁気コアを付着し、続いて、第2の組の平面導電線を付着し、それぞれの組を同様に磁気コアから絶縁する。好ましくは磁気コアの周縁部の周りに形成した複数の導電バイアで、絶縁体を介して第1および第2の組の導電線をリンクし、それにより、磁気コアを取り巻く連続電気経路を形成する。導電線および導電バイアの組の数を拡大することにより、コアの周りに複数の巻線が得られ、それにより、変成器の1次および2次巻線を形成することができる。

請求項（抜粋）：

モノリシック集積回路において、基板上の第1の複数の平面導電線と、前記第1の複数の導電線から分離された第2の複数の平面導電線と、前記第1の複数の導電線と前記第2の複数の導電線との間にある磁気コアと、前記第1の複数の導電線と前記第2の複数の導電線を前記磁気コアから分離する絶縁体と、前記絶縁体を貫通して伸び、前記磁気コアから離れており、前記第1および第2の複数の導電線を接続する導電バイアとを含み、前記第1および第2の複数の導電線と前記導電バイアが前記磁気コアの周りに連続導電コイルを形成することを特徴とするインダクタ。

IPC (5件)：

H01F 17/00 , H01F 10/14 , H01F 41/04 , H01L 27/04 , H01L 21/822

FI (4件)：

H01F 17/00 C , H01F 10/14 , H01F 41/04 C , H01L 27/04 L

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-354308
金属磁性薄膜及び金属磁性薄膜を用いた磁気ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-284397 出願人：三洋電機株式会社
特開昭62-037914

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