特許
J-GLOBAL ID：200903049121580319
基板回転保持装置及び回転式基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-128269
公開番号（公開出願番号）：特開平9-314022
出願日： 1996年05月23日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：
【要約】【課題】 カップ内部で基板Wを保持して回転させる装置において、乱気流による基板表面への影響を抑える。【解決手段】 この装置は、カップ2a,2b内で基板Wを水平に保持しつつ回転させる基板回転保持装置であり、上部に基板Wを水平姿勢で保持する回転自在な底板7及び支持部材8と、円環部材10とを有している。円環部材10は、底板7の外周側に底板7とともに回転するように設けられ、カップ2aの内壁面に向かって水平方向に延びる環状の平坦面10aを有している。
請求項（抜粋）：
カップ内で基板を水平に保持しつつ回転させる基板回転保持装置であって、前記基板を水平姿勢で保持する回転自在な基板保持部と、前記基板保持部の外周側に前記基板保持部とともに回転するよう設けられ、前記カップの内壁面に向かって水平方向に延びる環状の平坦面を有する円環部と、を備えた基板回転保持装置。
IPC (5件)：
B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, G03F 7/30 502
, H01L 21/027
, H01L 21/68
B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, G03F 7/30 502
, H01L 21/68 P
, H01L 21/30 564 C
