オンライン位相差測定装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：野口繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-124842
公開番号（公開出願番号）：特開2009-276079
出願日： 2008年05月12日
公開日（公表日）： 2009年11月26日
要約：

【課題】位相差Rが測定波長λの半分以上変化する被測定物に対してもオンライン測定を可能にする。【解決手段】位相差を異ならせて算出された複数の合算スペクトルIT(=(C+3)/2)(ただし、C=cos(2πR(λ)/λである。)を保持しておき、被測定物がない状態での透過光分光スペクトルI0(0),I0(45)と被測定物がある状態での透過光分光スペクトルI(0),I(45)とから合算スペクトル実測値IT’(ただし、IT’=I(0)/I0(0)+I(45)/I0(45)である。)を算出し、計算値ITと実測値IT’の差が最小になるITを求めてそのITに該当する位相差R(λ)をその被測定物の位相差Rm(λ)とする。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

多波長成分を含む測定光が移動する被測定物に偏光子を通して照射され、被測定物を透過した測定光が検光子を通して分光器に入射して透過光分光スペクトルが測定される位相差測定部であって、前記偏光子、検光子及び分光器は被測定物の移動方向に沿って配置された第1、第2の2組を含み、各組の偏光子と検光子は平行ニコルの状態に配置され、かつ第1の組の偏光子と検光子は基準方位に対する偏光方位が0°に設定され、第2の組の偏光子と検光子は基準方位に対する偏光方位が45°に設定されている位相差測定部と、前記位相差測定部で測定された透過光分光スペクトルから被測定物の位相差を少なくとも算出する演算処理部と、を備え、前記演算処理部は、位相差を異ならせて算出された複数の合算スペクトルIT(=(C+3)/2)(ただし、C=cos(2πR(λ)/λである。)を保持する分光スペクトル保持部と、前記位相差測定部において被測定物がない状態での2組の偏光子と検光子による透過光分光スペクトルI0(0),I0(45)と被測定物がある状態での2組の偏光子と検光子による透過光分光スペクトルI(0),I(45)とから合算スペクトル実測値IT’(ただし、IT’=I(0)/I0(0)+I(45)/I0(45)である。)を算出する合算スペクトル算出部と、前記分光スペクトル保持部に保持された計算値ITと前記合算スペクトル算出部で算出された実測値IT’の差が最小になるITを求めてそのITに該当する位相差R(λ)をその被測定物の位相差Rm(λ)とする位相差算出部を備えているオンライン位相差測定装置。

IPC (1件)：

G01N 21/23

FI (1件)：

G01N21/23

Fターム (9件)：

2G059AA02 , 2G059BB08 , 2G059EE01 , 2G059EE05 , 2G059EE12 , 2G059GG02 , 2G059JJ05 , 2G059JJ19 , 2G059KK04

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第2791506号公報
特許第2927145号公報

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