特許

J-GLOBAL ID：200903049138775288

基板処理装置

発明者： 板羽 昌行
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-215186
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043852
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】 インターフェースユニット(IFユニット)と露光ユニットの間で搬送される基板が外部雰囲気にさらされるのを防止する。【解決手段】 スピンコーターやベーキングユニット、スピンディベロッパーなどをインライン化した処理ユニットと、露光機などを備えた露光ユニットと、処理ユニットと露光ユニットとの間で基板の搬送を行なうIFユニット3を備えた基板処理装置において、IFユニット3の露光ユニット側の基板搬入出用の開口35と、露光ユニットのIFユニット3側の基板搬入出用の開口との間の基板搬送路の周囲に外部雰囲気の流入を防止するカバー5を設け、かつ、上記IFユニット3の基板搬入出用の開口35と、前記露光ユニットの基板搬入出用の開口との間でカバー5をスライド自在に構成した。

請求項（抜粋）：

レジスト塗布、プリベーク、現像、ポストベークなどの各工程を行なうための各種の処理装置をインライン化した処理ユニットと、露光工程を行なうための露光ユニットと、前記処理ユニットと前記露光ユニットとの間で基板の搬送を行なうインターフェースユニット(以下、「IFユニット」と略す)を備えた基板処理装置において、前記IFユニットの前記露光ユニット側の基板搬入出用の開口と、前記露光ユニットの前記IFユニット側の基板搬入出用の開口との間の基板搬送路の周囲に、前記IFユニットおよび前記露光ユニットの内部雰囲気とその外部雰囲気とを遮断するカバーを設け、かつ、前記IFユニットの前記露光ユニット側の基板搬入出用の開口と、前記露光ユニットの前記IFユニット側の基板搬入出用の開口との間で前記カバーをスライド自在または伸縮自在に構成したことを特徴とする基板処理装置。

IPC (4件)：

G03F 7/20 521 ,  B05C 11/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

G03F 7/20 521 ,  B05C 11/08 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 567 ,  H01L 21/30 569 D