特許
J-GLOBAL ID：200903049141238447
複屈折光学素子及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森下 武一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-122649
公開番号（公開出願番号）：特開2005-308859
出願日： 2004年04月19日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】 隣接するトレンチがつながっていない微細な一次元周期構造を備えた複屈折光学素子及びその製造方法を得る。 【解決手段】 切れ目6によって分断されて破線状に形成されている転写用開口5を有するマスクを素子基板に重ね合わせて、フォトリソグラフィーや電子線リソグラフィーによってエッチングする。これにて、切れ目3によって分断されたトレンチ2が一次元周期で並設された微細構造体を備えた複屈折光学素子が得られる。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
構造性複屈折を生じさせるために一次元周期で並設された複数本のトレンチを備え、該トレンチが切れ目によって分断された破線状に形成されていることを特徴とする複屈折光学素子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
2H049BA02
, 2H049BA06
, 2H049BA45
, 2H049BC08
