特許
J-GLOBAL ID：200903049142033970
露光装置及び露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-268690
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125990
出願日： 1990年04月25日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 パルス光源を有する露光装置での高精度な露光量制御を実現する。【解決手段】 パルス光を射出する光源への印加電圧と、その印加電圧のもとで射出されるパルス光の強度との関係に関する情報を格納するとともに、パルス光の一部を受光する光検出器の出力に基づいて記憶手段に格納された情報を更新するようにし、この更新された情報に基づいてパルス光の強度を調整する。
請求項（抜粋）：
パルス光を射出する光源を有し、マスクのパターンを基板上に転写する露光装置において、前記光源への印加電圧と、該印加電圧のもとで射出されるパルス光の強度との関係に関する情報を格納する記憶手段と、前記パルス光の一部を受光する光検出器を有し、該光検出器の出力に基づいて前記記憶手段に格納された情報を更新する演算手段とを備え、前記更新された情報に基づいて前記パルス光の強度を調整することを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
H01S 3/104
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
H01S 3/104
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 516 D
