プラズマ発生装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-068903
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045093
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】低放電電圧並びに/もしくは作用圧力のもとで、インライン動作モードに適したマグネトロンカソードを設けること。【構成】カソードスパッタリングとマイクロ波の照射によりプラズマを発生する装置であり、dc並びに/もしくはac電源10がカソード9に接続されており、マイクロ波はカソードと基板5との間の領域中に発振される。このマイクロ波によりマグネトロンの磁界22,23領域中にプラズマが発生し、ここで、電子サイクロトロン共鳴が生じ、またマイクロ波がプラズマ中に吸収される。

請求項（抜粋）：

カソードスパッタリングとマイクロ波照射とによりプラズマを発生させる装置であり、a)不活性ガス並びに/もしくは反応ガスが供給される真空チヤンバ(1)と、b)前記真空チヤンバ(1)内に設けられ、電流源に接続される電極(9)に接続されたターゲット(8)と、c)前記ターゲット(8)から出て、再びターゲットに入る磁界を発生する磁石システム(13〜15)と、d)導波管(20,21)並びにマイクロ波を通すガスバリアー(28,29)を介して、ターゲット(8)の前の領域中にマイクロ波を伝播し、かくしてマイクロ波がターゲット(8)に実質的に平行に照射されるマイクロ波トランスミッターとを具備する装置において、e)前記電極(9)は矩形面を有する矩形電極であり、f)前記導波管は、前記ターゲットの面に平行に延びる部分(16,17)と同様にターゲット面に垂直に延びる部分(20,21)を有する2つの空洞導波管(16,17)を具備し、g)ターゲット面に平行に延びた導波管の部分に続いてカソードシールドボックス(31,32)が前記部分(16,17)の径よりも大きい径を有する導波管として設置されていることを特徴とする装置。

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