特許

J-GLOBAL ID：200903049149429896

干渉計

発明者： 御菩薩池 茂男
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-166518
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356508
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 被計測物と基準反射部材の位置偏差が大きい状態でも、容易に、被計測物の位置偏差量と方向を検出可能な干渉計を得る事を目的とする。【解決手段】 上記課題を解決するために本発明では、光源1から発せられた光を参照光と測定光とに分離する参照波面創成手段6と、測定光が被計測光学系7に入射した際に被計測光学系7から射出される光の波面と略同形状の反射面を有する基準反射部材8とを備え、基準反射部材8を反射した測定光と参照光とを干渉させて、被計測光学系7の光学特性を得る干渉計において、被計測光学系7から射出された測定光の波面集光点またはその近傍に備え、被計測光学系7から射出された測定光の少なくとも一部を通過させ、基準反射部材8から反射された測定光の少なくとも一部を反射する反射部材15と、反射部材15で反射された測定光及び反射部材15を通過した測定光の集光位置を、測定光の波面集光点と光学的に光学的に共役な関係を有するで検出する検出手段14とを具備する事とした。

請求項（抜粋）：

光源から発せられた光を参照光と測定光とに分離する参照波面創成手段と、前記測定光が被計測光学系に入射した際に前記被計測光学系から射出される光の波面と略同形状の反射面を有する基準反射部材とを備え、前記基準反射部材を反射した測定光と前記参照光とを干渉させて、前記被計測光学系の光学特性を得る干渉計において、前記被計測光学系から射出された前記測定光の波面集光点またはその近傍に備え、前記被計測光学系から射出された前記測定光の少なくとも一部を通過させ、前記基準反射部材から反射された前記測定光の少なくとも一部を反射する反射部材と、前記反射部材で反射された測定光及び前記反射部材を通過した測定光の集光位置を、前記測定光の波面集光点と光学的に共役な関係を有するところで検出する検出手段とを具備する事を特徴とする干渉計。

IPC (4件)：

G01B 9/02 ,  G01J 3/45 ,  G01J 9/02 ,  G01M 11/00

FI (4件)：

G01B 9/02 ,  G01J 3/45 ,  G01J 9/02 ,  G01M 11/00 T

Fターム (15件)：

2F064AA09 ,  2F064BB03 ,  2F064CC10 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG44 ,  2F064GG66 ,  2F064HH03 ,  2F064JJ01 ,  2G020AA04 ,  2G020AA05 ,  2G020BA02 ,  2G020BA20 ,  2G086EE02