特許
J-GLOBAL ID：200903049156453417
振動型角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-310723
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159180
出願日： 1993年12月10日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 生産性がよく、安価で、性能の安定したセンサを提供する。【構成】 角速度センサは、半導体基板(シリコンウェハ)30を異方性エッチングして形成した振動子22を用いて構成される。振動子22はエッチングによって形成される面〔(111)面〕29に対して垂直に屈曲振動できるように構成され、入力角速度に応じた屈曲振動成分が検出される。振動子22は一般にn対(nは自然数)設けられる。振動子22を電気的に駆動したり、振動子の入力角速度に応じた振動を検出するために圧電膜23が振動子に形成されている。駆動用電極28と基板用電極28との間に駆動用電源が接続され、検出用電極27と基板用電極27との間に生じる出力電圧が取り出される。
請求項（抜粋）：
半導体基板を異方性エッチングして形成した振動子を用いて構成される振動型角速度センサであって、前記振動子は、前記エッチングにより形成される面に対して垂直に屈曲振動し得るように構成され、入力角速度に応じた前記屈曲振動成分を検出することを特徴とする振動型角速度センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84
