特許

J-GLOBAL ID：200903049161407679

回転可能なターゲット管をスパッタするための陰極装置

発明者： リチャード ニューカム ,  スコット トゥルーブ ,  トム リソ ,  ケン カワカミ ,  ディトマー マルクァルト ,  アンドレアス ザウアー
出願人/特許権者： アプライド フィルムス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト ,  アプライド フィルムス コーポレイション
代理人 (4件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-164772
公開番号（公開出願番号）：特開2006-131989
出願日： 2005年06月03日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】支持軸およびターゲット管の高度でかつ高負荷可能な同軸性と、水および真空に対する高い信頼度のシールと、前記支持軸とターゲット管との簡単な、頻繁に繰返し可能な、磨耗の少ない結合部および分離部とが、必須の操作のための広い自由空間および長い時間を必要とすることなく同時に実現可能であるようなものを提供する。【解決手段】少なくとも駆動可能な支持軸6とターゲット管12との間に、これらに対して同軸的なスペーサ部材15,67と、解離可能な2つの分離箇所32/53;60/61とが配置されており、該分離箇所32/53;60/61によって、一方では支持軸6とスペーサ部材15,67との間の、他方ではスペーサ部材15,67とターゲット管12との間の、相対回動不能でかつ形状剛性的な結合部が、解離可能および再形成可能であるようにした。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ターゲット管(12)をスパッタするための陰極装置であって、プラズマを閉じ込めるための磁界を生ぜしめるための回転不能な磁石システム(23)が設けられており、ターゲット管(12)が、真空チャンバ内で磁界を貫通するように回転可能であり、少なくとも1つの支持構造体(1)内に、ターゲット管(12)のための駆動可能な支持軸(6)が配置されており、さらに、ターゲット管(12)内に、磁石システム(23)のための保持装置が配置されており、かつ支持軸(6)とターゲット管(12)との間に、ターゲット管(12)の交換のための解離可能な少なくとも1つの連結装置が配置されている形式のものにおいて、 少なくとも駆動可能な支持軸(6)とターゲット管(12)との間に、これらに対して同軸的なスペーサ部材(15,67)と、解離可能な2つの分離箇所(32/53;60/61)とが配置されており、該分離箇所(32/53;60/61)によって、一方では支持軸(6)とスペーサ部材(15,67)との間の、他方ではスペーサ部材(15,67)とターゲット管(12)との間の、相対回動不能でかつ形状剛性的な結合部が、解離可能および再形成可能であることを特徴とする、回転可能なターゲット管をスパッタするための陰極装置。

IPC (1件)：

C23C 14/35

FI (1件)：

C23C14/35 F

Fターム (5件)：

4K029CA05 ,  4K029DC13 ,  4K029DC39 ,  4K029DC40 ,  4K029DC45

引用特許：

出願人引用 (10件)

• アメリカ合衆国特許4356073号明細書
  
• 国際公開第97/15697号パンフレット
  
• アメリカ合衆国再審査証明書6375815号明細書
  
• アメリカ合衆国特許4417968号明細書
  
• アメリカ合衆国特許4422916号明細書
  
• アメリカ合衆国特許5437778号明細書
  
• アメリカ合衆国特許5529674号明細書
  
• 国際公開第00/00766号パンフレット
  
• アメリカ合衆国特許5096562号明細書
  
• アメリカ合衆国特許5591314号明細書