特許
J-GLOBAL ID：200903049165965196
連続波紫外線照射による有機固形物の切断法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-308979
公開番号（公開出願番号）：特開平6-198475
出願日： 1991年11月25日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、工業的な工程、生物学的・医学的な処理、及び研究を含む目的のために紫外線波長で操作するレーザーを有機固形物の切断に使用することにおける技術分野に関する。【構成】 有機固形物により吸収される波長を有する連続波紫外線の光線(12)の焦点を該有機固形物の表面上の点(18)に合わせる。点(18)の大きさと共に有効パルス幅を規定する速度で、光線(12)と有機固形物(20)の間で相対的に移動させる。規定された範囲の波長、パワー密度、および有効パルス幅で、パルスされた紫外線レーザー光源を予め必要とする切断の速度及び質で有機固形物を切断しうる、新規な切断の規則性を発見した。
請求項（抜粋）：
有機固形物の表面上の一点に連続波紫外線の光線を向けて、有機固形物に吸収される波長、並びに有機固形物内においてアブレーション光分解(ablative photodecomposition)が開始するのに必要な密度より低いパワー密度で連続波紫外線の光線を該点に照射し、そして有機固形物において慣用的な励起二量体レーザーを使用したアブレーション光分解により得られるのと同様なエッチング速度を生ぜしめるために、相対的に移動する光線の方向における該点までの直線距離を光線と該有機固形物表面の間の相対的な速度で割った値である有効パルス幅を1マイクロ秒から1000マイクロ秒の範囲内に規定する速度で、該有機固形物に光線を相対的に移動させる工程からなる、連続波紫外線により有機固形物を切断する方法。
IPC (3件)：
B23K 26/00 320
, B23K 26/00
, B23K 26/08
