特許

J-GLOBAL ID：200903049168469840

対物レンズ駆動装置

発明者： 永 井 宏 一 ,  米 澤 実
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-199799
公開番号（公開出願番号）：特開2000-020986
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】 高精度の制御をする場合でも不要な振動を発生することがない対物レンズ駆動装置を提供すること。【解決手段】 本発明による対物レンズ駆動装置40は、対物レンズ1、2を保持可能な対物レンズホルダ3を備える。対物レンズホルダ3は、第1対物レンズ1の光軸に平行な軸線を有する軸穴4を有する。ヨーク6には、軸穴4を摺動自在に貫通する摺動軸5が保持されている。対物レンズホルダ3には、対物レンズホルダ3を摺動軸5の軸方向に駆動可能な上下駆動手段10a、10bと、対物レンズホルダ3を摺動軸5の周方向に駆動可能な回転駆動手段7a、7bが設けられる。側圧付与手段7a、7b、10a、10bが、摺動軸5の中心軸と対物レンズ1の光軸とを結んだ直線と、摺動軸5の中心軸と摺動軸5の軸穴4との接触点を結んだ直線とが形成する平面角度を90°以下とするようレンズ保持体3を摺動軸に5向けて付勢する。

請求項（抜粋）：

対物レンズを保持可能で、前記対物レンズの光軸に平行な軸線を有する軸穴を有するレンズ保持体と、ヨークにより保持可能で、前記軸穴を摺動自在に貫通する摺動軸と、前記レンズ保持体を前記摺動軸の軸方向に駆動可能な軸方向駆動手段と、前記レンズ保持体を前記摺動軸の周方向に駆動可能な回転駆動手段と、前記摺動軸の中心軸と前記対物レンズの光軸とを結んだ直線と、前記摺動軸の中心軸と前記摺動軸の前記軸穴との接触点を結んだ直線とがなす平面角度を90°以下とするべく前記レンズ保持体を前記摺動軸に向けて付勢する側圧付与手段と、を備えたことを特徴とする対物レンズ駆動装置。

IPC (3件)：

G11B 7/09 ,  G02B 7/02 ,  G02B 7/04

FI (4件)：

G11B 7/09 D ,  G02B 7/02 A ,  G02B 7/04 D ,  G02B 7/04 E

Fターム (23件)：

2H044AA15 ,  2H044AA16 ,  2H044BD10 ,  2H044BD12 ,  2H044BD14 ,  2H044BD16 ,  2H044BE06 ,  2H044BE10 ,  5D118AA23 ,  5D118BA01 ,  5D118DC03 ,  5D118EA02 ,  5D118EC07 ,  5D118EC09 ,  5D118ED05 ,  5D118ED07 ,  5D118ED08 ,  5D118EE04 ,  5D118EE05 ,  5D118EF07 ,  5D118FA07 ,  5D118FB08 ,  5D118FB11