特許
J-GLOBAL ID:200903049176353079

角速度検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 広瀬 和彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-274025
公開番号(公開出願番号):特開平10-103960
出願日: 1996年09月25日
公開日(公表日): 1998年04月24日
要約:
【要約】【課題】 角速度検出装置において、振動体を検出軸方向に補正振動させる補正振動発生手段を設け、角速度が加わっていないときに検出軸方向に発生する漏れ振動を抑え、角速度の検出感度を高める。【解決手段】 振動体26の左,右には振動発生部33,33と変位検出部34,34を設けると共に、前,後には補正振動発生部35,35を設ける。そして、振動体26を振動軸となるX軸方向に矢示aで振動させた状態で被検出軸周りに角速度Ωが加わっていないときに発生する検出軸となるY軸方向の漏れ振動を、各補正振動発生部35によって発生する補正振動によって相殺する。これにより、振動体26に加わる漏れ振動を低減し、角速度Ωを正確に検出する。
請求項(抜粋):
基板上に設けられ、互いに直交する振動軸と検出軸との2軸方向に変位可能な振動体と、駆動信号を印加することにより該振動体を振動軸方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段によって前記振動体を振動軸方向に振動させた状態で、前記振動軸と検出軸の2軸に対して直交する被検出軸周りの角速度によって振動体が検出軸方向に変位するときの変位量を検出する変位検出手段とから構成してなる角速度検出装置において、補正信号を印加することにより前記振動体を検出軸方向に補正振動させる補正振動発生手段を設けたことを特徴とする角速度検出装置。
IPC (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 21/00
FI (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 21/00

前のページに戻る