特許
J-GLOBAL ID：200903049180066076
圧力センサおよび自動車用内燃機関制御装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉岡 宏嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-335384
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153748
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】 センサチップを樹脂パッケージに組み込んだ圧力センサにおいて、樹脂パッケージのゆがみによる特性変化を防止した圧力センサを提供する。【解決手段】 樹脂パッケージ3の中にリード4を埋め込み、このリード4の上にセンサチップ1を接合する。またチップ接合部分のパッケージ層構造を厚さ方向に関して対称とする。また、樹脂パッケージ3のセンサチップ接合部分のまわりの部分より、チップ接合部分の剛性を大きくする。本発明によれば、パッケージ樹脂のゆがみがセンサチップに伝わるのを防ぎ、センサ特性の変化を防止できる。
請求項（抜粋）：
樹脂パッケージに埋め込まれたリードに、センサチップが接合されてなる圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 23/22
, F02D 35/00 366 D
2F055AA22
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD05
, 2F055DD11
, 2F055EE25
, 2F055FF04
, 2F055FF23
, 2F055FF38
, 2F055GG12
