特許
J-GLOBAL ID：200903049181608395
位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-052598
公開番号（公開出願番号）：特開平7-239212
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 段差等の検出能力に優れたエッジ検出装置を提供する。【構成】 光源手段からの照明光を互いに偏光方向が直交する二つの偏光検査光を形成させると共に、これらを近接させて分離する偏光分離手段と、これらを対象物上に照射する検査光照射手段と、これらを同一光路上に合成する光路合成手段と、合成された偏光検査光を偏光干渉させる偏光干渉手段と、この検知光を光電検出する光電検出手段と、平面部からの検知光の相互間に予め定められた任意の位相差を与えた状態の検知光として光電検出手段に導く位相差調整手段とを備え、凹凸マークのエッジ位置での干渉状態の変化を検出する事により凹凸マークの位置を検出する。
請求項（抜粋）：
微小対象物上に形成された凹凸マークの位置検出装置であって、光源手段からの照明光を偏光分離させて互いに偏光方向が直交する二つの偏光検査光を形成させると共に、これらを近接させて分離する偏光分離手段と、前記二つの偏光検査光を対象物上にそれぞれ照射する検査光照射手段と、前記対象物から反射された前記二つの偏光検査光を同一光路上に合成する光路合成手段と、前記合成された偏光検査光を偏光干渉させる偏光干渉手段と、前記偏光干渉された検知光を光電検出する光電検出手段と、前記対象物上の平面部からの検知光を、前記二つの偏光検査光の相互間に予め定められた任意の位相差を与えた状態の検知光として光電検出手段に導く位相差調整手段と、を備え、前記光電検出手段による検出結果に基づいて、微小対象物上に形成された凹凸マークのエッジ位置での干渉状態の変化を検出する事により凹凸マークの位置を検出することを特徴とする位置検出装置。
IPC (2件)：
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