特許
J-GLOBAL ID：200903049183085420
真空用ゲッタ及びその製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-160166
公開番号（公開出願番号）：特開平9-262463
出願日： 1996年06月20日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】 ガスバリヤー性の密閉容器に乾燥状態で収納され、使用直前に高温の加熱乾燥処理の必要がない、水分及び酸素の吸収を目的とした真空用ゲッタを提供する。【解決手段】 物理的水分吸着物質と化学的水分吸収物質よりなる水分吸収剤と酸素吸収に水分を必要としない酸素吸収剤が、ガスバリヤー性の密閉容器の同一閉鎖空間内に減圧下に収納されること、ないしは、収納されて更に加熱されることにより乾燥状態とされた真空用ゲッタを得る事を特徴とする。
請求項（抜粋）：
物理的水分吸着物質と化学的水分吸収物質よりなる水分吸収剤、並びに酸素の吸収に水分を必要としない酸素吸収剤が、ガスバリヤー性の密閉容器の同一閉鎖空間内に収納されてなることを特徴とする真空用ゲッタ。
IPC (7件)：
B01J 20/18
, B01J 20/04
, B01J 20/06
, B01J 20/10
, F16L 59/02
, F25D 23/06
, C23C 14/00
B01J 20/18 D
, B01J 20/18 C
, B01J 20/04 C
, B01J 20/06 C
, B01J 20/10 D
, F16L 59/02
, F25D 23/06 V
, C23C 14/00 B
