特許

J-GLOBAL ID：200903049192055223

カラーフイルタの製造法

発明者： 森 靖樹
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-005662
公開番号（公開出願番号）：特開平8-194104
出願日： 1995年01月18日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】 感光性フイルムの追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の多色の微細パターンの形成された優れた耐熱性を有するカラーフイルタを製造することができるカラーフイルタの製造法を提供する。【構成】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、(1)着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように貼り合わせる工程、(2)パターン状に露光する工程及び(3)現像工程を少なくとも含む工程を繰り返して多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法において、二色目以降の前記着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように、画素間に空間を形成して貼り合わせ、前記(1)と(3)の工程の間に、加熱による二色目以降の感光性樹脂層のベースフイルムから画素間空間への移行工程を含み、すべての画素の膜厚を2.0〜3.0μmとすることを特徴とするカラーフイルタの製造法。

請求項（抜粋）：

透明基板上に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、(1)着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように貼り合わせる工程、(2)パターン状に露光する工程及び(3)現像工程を少なくとも含む工程を繰り返して多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法において、二色目以降の前記着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように、画素間に空間を形成して貼り合わせ、前記(1)と(3)の工程の間に、加熱による二色目以降の感光性樹脂層のベースフイルムから画素間空間への移行工程を含み、すべての画素の膜厚を2.0〜3.0μmとすることを特徴とするカラーフイルタの製造法。