分解能評価試料

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大垣孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-238587
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082262
出願日： 1995年09月18日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】半導体のインラインタイプの装置の評価ができ、かつ、高い分解能を有する装置にも対応できる分解能評価試料。【解決手段】下地の表面に、少なくとも一部分のタングステンシリサイド粒子間に下地の表面が露出するように、当該タングステンシリサイド粒子を設けてなる。

請求項（抜粋）：

下地の表面に、少なくとも一部分のタングステンシリサイド粒子間に前記下地の表面が露出するように、当該タングステンシリサイド粒子を設けてなることを特徴とする分解能評価試料。

IPC (4件)：

H01J 37/256 , G01N 1/00 102 , G01R 31/302 , H01L 21/28

FI (4件)：

H01J 37/256 , G01N 1/00 102 B , H01L 21/28 , G01R 31/28 L

引用特許：

審査官引用 (7件)

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